Toriumi Lab. Dept. of Materials Engineering, The Univ. of Tokyo
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Awards List

ー2010ー

Publication

  • A. Toriumi, C. H. Lee, T. Nishimura, K. Kita, S. K. Wang, M. Yoshida, and K. Nagashio
    “Feasibility of Ge CMOS for Beyond Si-CMOS"
    ECS Trans. 33 (6) 33-46 (2010).
  • K. Kita, L. Q. Zhu T. Nishimura, K. Nagashio, and A. Toriumi
    “Formation of Dipole Layers at Oxide Interfaces in High-k Gate Stacks”
    ECS Trans. 33 (6) 463-477 (2010).
  • T. Tabata, C.H.Lee, K. Kita, and A.Toriumi
    "Direct LaLuO3/Ge Gate Stack Formation by Interface Scavenging and Subsequent Low Temperature O2 Annealing"
    ECS Trans. 33(3) 375-382(2010)
  • K. Nagashio, T. Nishimura, K. Kita, and A. Toriumi
    "Contact resistivity and current flow path at metal/graphene contact"
    Appl. Phys. Lett., 97, 143514(2010).
  • S.K. Wang, K.Kita, C.H. Lee, T. Tabata, T.Nishimura, K. Nagashio and A.Toriumi, "Desorption kinetics of GeO from GeO2/Ge structure",
    Journal of Applied Physics, 108, 054104 (2010).
  • Y.Zhao, K.Kita, and A.Toriumi
    "Thermodynamic analysis of moisture absorption phenomena in high-permittivity oxides as gate dielectrics of advanced complementary-metal-oxide-semiconductor devices"
    Appl. Phys. Lett., 96, 242901 (2010)
    published online Jun. 15, 2010
  • L.Q. Zhu, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio, S.K. Wang and A. Toriumi
    "Observation of Dipole Layer Formed at High-k Dielectrics/SiO2 Interface with X-ray Photoelectron Spectroscopy"
    Applied Physics Express, 3 (2010) 061501,
    published online May 28, 2010
  • K. Nagashio, T. Nishimura, K. Kita, and A. Toriumi,
    "Systematic Investigation of the Intrinsic Channel Properties and Contact Resistance of Monolayer and Multilayer Graphene Field-Effect Transistor"
    Japanese Journal of Applied Physics ,49 (2010) 051304
    ,
    published online May 20, 2010
  • A.Toriumi, S.K. Wang, C.H. Lee, M. Yoshida, K. Kita, T. Nishimura and K. Nagashio,
    "Oxidation, Diffusion and Desorption in Ge/GeO2 System"

    ECS Trans., 28 (2), pp.171-180 (2010).
  • Y. Nakajima, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    "Experimental Demonstration of Higher-k Phase HfO2 through Non-equilibrium Thermal Treatment"
    ECS Trans., 28 (2), pp. 203-212 (2010).
  • K. Kita, A. Eika,T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "Resistive Switching Behaviors of NiO Bilayer Films with Different Crystallinity Layers"
    ECS Trans., 28 (2), pp. 315-322 (2010).



International
  • K. Nagashio, T. Yamashita, J. Fujita, T. Nishimura, K. Kita and A. Toriumi,
    “Impacts of graphene/SiO2 interaction on FET mobility and Raman spectra in mechanically exfoliated graphene films”,
    2010IEEE International Electron Device Meeting(IEDM2010), pp.564-567.(Dec.
    7, 2010, San Francisco).
  • C.H. Lee, T. Nishimura, T. Tabata, S.K. Wang, K. Nagashio, K. Kita and A. Toriumi,
    “Ge MOSFETs Performance: Impact of Ge Interface Passivation”, 2010IEEE International Electron Device Meeting(IEDM2010), pp.416-419.(Dec. 7, 2010, San Francisco).
  • M. Yoshida, K. Kita, K. Nagashio, T. Nishimura and A. Toriumi,
    “Oxidation Sensitive LO-phonon Mode of GeO2 in Initial Oxidation Regime of Ge”,
    41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference International(SISC2010)(Dec. 3, 2010, San Diego).
  • K. Kita,
    “Understanding of GeO2 Material Properties for Advanced Ge MIS Stacks”, Invited
    41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference International(SISC2010)(Dec. 3, 2010, San Diego).
  • T. Tabata, C. H. Lee, T. Nishimura, K. Kita and A. Toriumi,
    “Impact of Low Temperature O2 Annealing for Stabilizing LaLuO3/Ge Gate Stacks without Additional Interface Layer Formation”,
    41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference International(SISC2010)(Dec. 2, 2010, San Diego).
  • S. K. Wang, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio and A.Toriumi,
    “Crystallization of Thick Amorphous GeO2 on Ge to α-quartz Structure - Experimental Evidence and Crystallization Model”,
    41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference International(SISC2010)(Dec. 2, 2010, San Diego).
  • A. Toriumi,
    "Graphene Interfaces", invited, Dasan Conference on Graphene,
    (Nov.10, 2010,Jeju)
  • T. Tabata, C. H. Lee, K. Kita, and A. Toriumi,
    "Direct LaLuO3/Ge Gate Stack Formation by Interface Layer Scavenging and Subsequent Low Temperature O2 Annealing", 
    The 218th Electrochemical Society Meeting (Oct. 13, 2010, Las Vegas)
  • K. Kita, L. Q. Zhu T. Nishimura, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    “Formation of Dipole Layers at Oxide Interfaces in High-k Gate Stacks”, Invited
    The 218th Electrochemical Society Meeting (Oct. 12, 2010, Las Vegas)
  • A. Toriumi, C. H. Lee, T. Nishimura, K. Kita, S. K. Wang, M. Yoshida, and K. Nagashio,
    “Feasibility of Ge CMOS for Beyond Si-CMOS", Invited
    The 218th Electrochemical Society Meeting (Oct. 11, 2010, Las Vegas)
  • M. Yoshida, T. Nishimura, C. H. Lee, K. Kita, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "TO- and LO-mode analyses in asymmetric stretching vibrations in ultra thin thermally grown GeO2 on Ge substrate",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp1002-1003.(Sep.24, 2010, Tokyo)
  • D. D. Zhao, C. H. Lee, T. Nishimura, K. Nagashio, K. Kita, A. Toriumi,
    "Electron and hole mobility comparison in a single Ge-MOSFET fabricated on 50 nm-thick GeOI substrate",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp303-304.(Sep.23, 2010, Tokyo)
  • Y. Nakajima, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "Stability origin of metastable higher-k phase HfO2 at room temperature",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp687-688.(Sep.23, 2010, Tokyo)
  • T. Yamashita, J. Fujita, K. Nagashio, T. Nishimura, K. Kita and A. Toriumi,
    "Impact of Surface Treatment of SiO2/Si Substrate on Mechanically Exfoliated Graphene",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp896-897.(Sep.23, 2010, Tokyo)
  • K. Nagashio, T. Nishimura, K. Kita and A. Toriumi,
    "DOS Bottleneck for Contact Resistance in Graphene FETs", invited
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp884-885.(Sep.23, Tokyo, 2010)
  • C. H. Lee, T. Nishimura, T. Tabata, S. Wang, K. Nagashio, K. Kita, and A. Toriumi,
    "Advantage of High-pressure Oxidation for Ge/GeO2 Stack Formation",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp25-26.(Sep.22, 2010, Tokyo)
  • F. I. Alzakia, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "Effects of GeO2-Metal Interaction on VFB of GeO2 MIS Gate Stacks",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp29-30.(Sep.22, 2010, Tokyo)
  • S. K. Wang, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "GeO Desorption Mechanism from GeO2/Ge Stack Determined by 73Ge Labeling Technique in Thermal Desorption Spectroscopy (TDS) Analysis",
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM), pp35-36.(Sep.22, 2010, Tokyo)
  • A. Toriumi,
    "Will Germanium Be Back ?", invited
    IUMRS-ICEM2010,(Aug. 23, 2010, Seoul)
  • T. Nishimura, C.H. Lee, S.K. Wang, T. Tabata, K. Kita, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    "Electoron Mobility in High-k Ge MISFETs Goes up to Higher."
    2010 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers,p.209 , (Jun. 17, 2010, Honolulu)
  • T. Nishimura, K. Kita, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    "Long Range Pinning Interaction in Ultra-thin Insulator-inserted Metal/Germanium Junctions."
    2010 Silicon Nanoelectronics Workshop, p.19(Jun. 13, 2010, Tokyo)
  • A.Toriumi,
    "Can Germanium be Beyond Silicon in Performance ?", invited
    5th ISTDM,(May 26, 2010, Stockholm)
  • A. Toriumi,
    "Design of Interfacing Fields for Advanced Electron Devices", invited
    Extended Abstracts on International Symposium on Technology Evolution for
    Silicon Nano-Electronics (ISTESNE), p.6 (Jun. 3, 2010, Tokyo)
  • K. Kita, A. Eika, T. Nishimura, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    "Resistive Switching in NiO Bilayer Films with Different Crystallinity Layers"
    Extended Abstracts on International Symposium on Technology Evolution for
    Silicon Nano-Electronics (ISTESNE), p.83 (Jun. 4, 2010, Tokyo).
  • A.Toriumi, S.K. Wang, C.H. Lee, M. Yoshida, K. Kita, T. Nishimura and K. Nagashio,
    "Oxidation, Diffusion and Desorption in Ge/GeO2 System", invited

     217th ECS Meeting, (Apr. 27, 2010, Vancouver).
  • Y. Nakajima, K. Kita, T. Nishimura, K. Nagashio, and A. Toriumi,
    "Experimental Demonstration of Higher-k Phase HfO2 through Non-equilibrium Thermal Treatment"

     217th ECS Meeting, (Apr. 27, 2010, Vancouver).
  • K. Kita, A. Eika,T. Nishimura, K. Nagashio and A. Toriumi,
    "Resistive Switching Behaviors of NiO Bilayer Films with Different Crystallinity Layers"
     217th ECS Meeting, (Apr. 27, 2010, Vancouver).
  • K. Nagashio, T. Nishimura, K. Kita, and A. Toriumi,
    "Current crowding at metal contacts in graphene FETs",
     2010 MRS Spring Meeting, (Apr. 7 ,2010, San Francisco).


Domestic

  • 長汐晃輔,鳥海明,
    「金属/グラフェンコンタクトの基礎特性」招待講演
    真空・表面科学合同講演会
    (2010年11月5日, 大阪大学(大阪))
  • 李 忠賢,西村知紀,長汐晃輔,喜多浩之,鳥海 明
    「Ge/GeO2スタックにおける高圧酸化の優位性」(講演奨励賞受賞記念講演)
    2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会
    (2010年9月15日, 長崎)
  • 西村知紀, 李 忠賢, 王 盛凱, 田畑俊行, 喜多浩之, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「High-k/Ge MOSFETにおける電子移動度の向上」 招待講演
    電気学会 シリコンナノデバイス集積化技術調査専門委員会 「グリーンITにおける化合物半導体電子デバイス調査専門委員会」
    (2010年7月26日, 東京) 

  • 西村知紀, 李 忠賢, 王 盛凱, 田畑俊行, 喜多浩之, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「High-k Ge-MISFETにおける電子移動度の更なる向上」 招待講演
    応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 第127回研究集会 「VLSIシンポジウム特集(先端 CMOSデバイス・プロセス技術)」
    (2010年7月22日, 東京)

  • 西村知紀, 李 忠賢, 田畑俊行, 王 盛凱, 西道典弘, 吉田まほろ, 長汐晃輔, 喜多浩之, 鳥海明
    「Ge-CMOS に向けた界面の制御と課題」 招待講演
    電気化学会 電子材料委員会 第74回 半導体・集積回路技術シンポジウム
    (2010年7月9日, 東京)

  • 喜多浩之, 王 盛凱, 李 忠賢, 吉田まほろ, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「Ge/GeO2界面反応の理解に基づいたGeO2膜物性の制御とGe-MOSFETの性能向上」
     電気学会 電子デバイス研究会「グリーンITにおける電子デバイス」EDD-10-037
     (2010年3月26日, 東京)
  • 王 海涛, 長汐晃輔, 西村知紀, 喜多浩之, 鳥海 明
    「グラフェンのヤング率測定に関する検討」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月20日, 神奈川)
  • 藤田淳也, 長汐晃輔, 西村知紀, 喜多浩之, 鳥海 明
    「単層グラフェンのエッジがラマンスペクトルに及ぼす影響」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月19日, 神奈川)
  • 岩田至弘, 長汐晃輔, 西村知紀, 喜多浩之, 鳥海 明
    「HfO2上に転写したグラフェンの視認性と電気測定」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月19日, 神奈川)
  • 鳥海 明, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔
    「Ge CMOSの可能性と課題」 招待講演
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月19日, 神奈川)
  • 竺 立強, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    "Interfacial dipoles at high-k/SiO2 interface observed by X-ray Photoelectron Spectroscopy"
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月19日, 神奈川)
  • 近田侑吾, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「High-k材料固有のバンド端エネルギー準位のXPSによる定量的評価」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月19日, 神奈川)
  • 喜多浩之, 西村知紀, 李 忠賢, アルザキア ファド, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「1,2GeO2 MISスタックのフラットバンド電圧に対するGeO2/メタル界面の影響」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 西村知紀, 長汐晃輔, 喜多浩之, 鳥海 明
    「極薄TiO2膜の挿入による金属/n-Ge接合におけるオーミック接合の形成」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 李 忠賢, 西村知紀, 長汐晃輔, 喜多浩之, 鳥海 明
    「GeO2形成時の高圧酸化と1気圧酸化の本質的な違い - バルクGeO2膜とGeO2/Ge界面の独立な制御 -」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 鷹本靖欣, 西村知紀, 長汐晃輔, 喜多浩之 鳥海 明
    「Internal Photo Emission測定における絶縁膜電界の決定方法」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 吉田まほろ, 喜多浩之, 李 忠賢, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「高圧O2熱処理がGe/GeO2に及ぼす影響」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 王 盛凱, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「低圧酸素雰囲気下におけるGe表面の活性酸化」
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月18日, 神奈川)
  • 長汐晃輔, 西村知紀, 喜多浩之, 鳥海 明
    「グラフェン/金属界面での電荷移動」招待講演
     2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, (2010年3月17日, 神奈川)
  • 喜多浩之, 鳥海 明
    「High-k/SiO2界面に形成されるダイポールの起源」 招待講演
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),pp. 81-84
     (2010年1月23日, 三島)
  • 鷹本靖欣, 西村知紀, 長汐晃輔, 喜多浩之, 鳥海 明
    「ヘテロ界面に於けるバンドオフセットの決定に向けたInternal Photo Emission法の詳細検討」
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),
     pp. 225-228 (2010年1月22日, 三島)
  • 吉田 まほろ, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「UV分光エリプソメトリを用いた複素屈折率測定に基づくGe上GeO2薄膜の欠陥評価」
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),
     pp. 221-224 (2010年1月22日, 三島)
  • 近田侑吾, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「XPSで決定するHigh-k絶縁膜価電子帯エネルギー準位の定量的再検討」
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),
     pp. 217-220 (2010年1月22日, 三島)
  • 王 盛凱, 喜多浩之, 田畑俊行, 西村知紀, 長汐晃輔, 鳥海 明
    「Ge/GeO2界面から脱離するGeOのTDSによる解析」
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),
     pp.169-172 (2010年1月22日, 三島)
  • 竺 立強, 喜多浩之, 西村知紀, 長汐晃輔, 王 盛凱, 鳥海 明
    "X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of dipole Effects at High-k/SiO2 Interface"
     ゲートスタック研究会−材料・プロセス・評価の物理−(第16回研究会),
     pp.109-111 (2010年1月22日, 三島)
  • 長汐晃輔, 西村知紀, 喜多浩之, 鳥海 明
    「グラフェン/金属コンタクトの重要性−移動度とコンタクト抵抗の解析−」
     応用物理学会分科会, 電子情報通信学会(IEDM特集)
     (2010年1月29日, 東京)
  • 李 忠賢, 西村知紀, 長汐晃輔, 喜多浩之, 鳥海 明
    「Ge/GeO2界面制御によるGe-nMOSFETsの電子移動度の向上」
     応用物理学会分科会, 電子情報通信学会(IEDM特集)
     (2010年1月29日, 東京)

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